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解決方案
由于工藝水平不同,晶圓可能會在生產階段產生冗余物、晶體缺陷和機械損傷三種缺陷。因此,高效準確的檢測設備,是提供高可靠性晶圓材料的保證。相較于傳統人工檢測而言,機器視覺檢測具有精度高、效率高、可連續性以及非接觸式避免污染等優勢。
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